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| 激光加工电子陶瓷基板孔的形貌特征及其工艺调控综述 | |
| 引用本文： | 赵万芹,梅雪松,杨子轩.激光加工电子陶瓷基板孔的形貌特征及其工艺调控综述[J].中国激光,2022(10):37-65. |
| 作者姓名： | 赵万芹 梅雪松 杨子轩 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学机械工程学院;2. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51735010,52105465)； |
| 摘 要： | 电子器件的高质量和高密度互联对激光加工硬脆电子陶瓷基板表面孔的质量提出了更高的要求。综述了长脉冲毫秒激光、短脉冲纳秒激光和超快激光加工的电子陶瓷基板孔的形貌特征，主要包括孔的表面形貌特征(如孔口圆度、孔表面喷溅物、孔表面微裂纹和孔表面热影响区等)及孔的侧壁形貌特征(如孔的锥度、孔侧壁重铸层和孔侧壁表面微裂纹等)。 |
| 关 键 词： | 激光技术 电子陶瓷基板 孔的形貌特征 毫秒激光 纳秒激光 超快激光 |