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| 柔性铰链微定位平台的设计 | |
| 引用本文： | 马立,谢炜,刘波,孙立宁.柔性铰链微定位平台的设计[J].光学精密工程,2014,22(2):338. |
| 作者姓名： | 马立 谢炜 刘波 孙立宁 |
| 作者单位： | 马立:上海大学 机电工程与自动化学院, 上海 200072苏州大学 机器人与微系统研究中心, 江苏 苏州 215021 谢炜:上海大学 机电工程与自动化学院, 上海 200072 刘波:上海大学 机电工程与自动化学院, 上海 200072 孙立宁:苏州大学 机器人与微系统研究中心, 江苏 苏州 215021哈尔滨工业大学 机器人技术与系统国家重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150080 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No. 50905105); 上海市自然科学基金资助项目(No.13ZR1415800); 上海市教育委员会科研创新资金资助项目(No.14YZ008) |
| 摘 要： | 设计了一种以平行板铰链机构进行导向,以桥式机构进行位移放大的新型压电陶瓷驱动微定位平台。应用弹性力学和材料力学理论建立该平台的桥式放大机构和平行板铰链机构的理论模型,分析了平台的驱动力、输出位移、刚度和固有频率,并运用Matlab软件优化了桥式机构铰链长度、厚度,平行板铰链长度及厚度等几何参数,获得了微定位平台的最优值。对优化后的结果进行了有限元仿真,并搭建了测试系统对平台性能进行了测试。测试结果显示,理论分析与实验结果的最大误差为9.8%,有限元分析与实验结果的最大误差为4.2%,得到的结果验证了理论分析和有限元分析的正确性,实现了平台体积小,放大倍数高,位移输出大的设计目标。 |
| 关 键 词： | 微定位平台 桥式机构 平行板机构 柔性铰链 有限元分析 优化设计 |
| 收稿时间： | 2013/10/11 |
Design of micro-positioning stage with flexure hinge |
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| Abstract: | |
| Keywords: | micro-positioning stage bridge-type mechanism parallel board mechanism flexure hinge Finite Element Analysis( FEA) optimal design |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |