| C／C多层类金刚石薄膜的热稳定性研究 |
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| 引用本文： | 沟引宁,黄楠,孙鸿.C／C多层类金刚石薄膜的热稳定性研究[J].真空科学与技术学报,2008,28(6). |
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| 作者姓名： | 沟引宁 黄楠 孙鸿 |
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| 作者单位： | 1. 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,成都,610031;重庆工学院材料科学与工程学院,重庆,400050
2. 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,成都,610031 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目
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| 摘 要： | 采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术,通过改变基体偏压,在单晶Si片和0Cr19Ni9基体表面制备了C/C多层类金刚石薄膜。为了考察多层膜的热稳定性,对薄膜进行了300℃及400℃退火处理,采用X射线光电子能谱、硬度实验及摩擦磨损性能测试分析了退火对薄膜结构及性能的影响。结果表明在400℃范围内多层膜具有较高的热稳定性。
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| 关 键 词： | 磁过滤直流阴极真空弧源 C/C多层类金刚石薄膜 热稳定性 |
Thermal Stability of C/C Multi-Layers |
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| Gou Yinning,Huang Nan,Sun Hong.Thermal Stability of C/C Multi-Layers[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2008,28(6). |
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| Authors: | Gou Yinning Huang Nan Sun Hong |
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| Affiliation: | Gou Yinning1,2,Huang Nan1*,Sun Hong1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Filtered cathodic vacuum arc source C/C multilayer DLC films Thermal stability |
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