| 退火温度对Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12铁电薄膜力学性能的影响 |
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| 引用本文： | 蒋大洞,郑学军,龚跃球,朱哲,彭金峰.退火温度对Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12铁电薄膜力学性能的影响[J].无机材料学报,2013(2):131-135. |
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| 作者姓名： | 蒋大洞 郑学军 龚跃球 朱哲 彭金峰 |
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| 作者单位： | 湘潭大学材料与光电物理学院 |
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| 基金项目： | 教育部长江学者和创新团队发展计划([2011]20);国家自然科学基金(10825209);长江学者奖励计划([2009]17);湘潭大学博士科研启动基金(11QDZ24)~~ |
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| 摘 要： | 利用金属有机物分解法(MOD)在Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上制备了Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12(BENT)薄膜,并经600℃、650℃、700℃、750℃退火处理。通过纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性模量,采用X射线衍射(XRD)测量了薄膜的残余应力。BENT薄膜的晶粒尺寸随着退火温度的升高而不断变大。当晶粒尺寸从37 nm增大到46 nm时,薄膜的硬度值从8.4 GPa减少到3.1 GPa,弹性模量从171.5 GPa减小到141.6 GPa。随着退火温度从600℃升高到750℃时,薄膜的残余压应力值从–743 MPa减小到了–530 MPa。退火温度为600℃的BENT薄膜具有最大的硬度和弹性模量。
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| 关 键 词： | 弹性模量 硬度 残余应力 退火温度 |
Effect of Annealing Temperature on the Mechanical Properties of Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12 Ferroelectric Thin Films |
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| JIANG Da-Dong,ZHENG Xue-Jun,GONG Yue-Qiu,ZHU-Zhe,PENG Jin-Feng.Effect of Annealing Temperature on the Mechanical Properties of Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12 Ferroelectric Thin Films[J].Journal of Inorganic Materials,2013(2):131-135. |
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| Authors: | JIANG Da-Dong ZHENG Xue-Jun GONG Yue-Qiu ZHU-Zhe PENG Jin-Feng |
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| Affiliation: | (Faculty of Materials and Optoelectronic Physics,Xiangtan University,Xiangtan 411105,China) |
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