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| 光刻单元集的切割重组选择算法 | |
| 引用本文： | 王绍钧,杨立才.光刻单元集的切割重组选择算法[J].计算机应用研究,1995,12(4):51-52. |
| 作者姓名： | 王绍钧 杨立才 |
| 作者单位： | 山东工业大学自动化工程系 |
| 摘 要： | 本文给出一个效率较高的算法，通过对ＶＬＳＩ设计图形的切割，重组和选择，建立光刻图形的单元图形集合－光刻单元集。 |
| 关 键 词： | 集成电路 VLSI 光刻 切割 算法 微细加工 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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