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| 利用MEMS技术的乙炔传感器研究 | |
| 引用本文： | 祁欣,周明军,张洪泉.利用MEMS技术的乙炔传感器研究[J].计测技术,2010(Z1):146-147. |
| 作者姓名： | 祁欣 周明军 张洪泉 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 基金项目： | 国家“863”计划资助项目(2006AA040101) |
| 摘 要： | 利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜电阻器,涂敷Al2O3-SnO2-Ti02-Pd和Al2O3-SnO2-Ti02-Pt,形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出乙炔传感器。测试结果表明:传感器可实现乙炔浓度为0～15000×10-6的检测,具有线性输出特性,同时对乙炔传感器的长期稳定性进行了研究。 |
| 关 键 词： | 微悬梁 Al2O3膜板 催化燃烧 乙炔传感器 |
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