| 多片LPE生长AlxGa1—xAs／GaAs单晶薄膜 |
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| 引用本文： | 陈庭金 袁海荣. 多片LPE生长AlxGa1—xAs／GaAs单晶薄膜[J]. 半导体光电, 1998, 19(5): 304-307 |
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| 作者姓名： | 陈庭金 袁海荣 |
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| 作者单位： | 云南师范大学 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新的“分离三室水平推挤式多片外延舟”，可在国产水平外延炉中实现多片单晶薄膜外延。同时，研究了适合于多片外延的各种工艺条件。用于研制的ｐ－ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ｐ－ｎ－ｎ＾＋－ＧａＡｓ太阳通电池，ＡＭ０．２５℃，１２０ｍＷ．ｃｍ＾－２的转换室１９．８％。
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| 关 键 词： | 液相外延 单晶薄膜 化合物半导体 太阳能电池 |
Al x Ga 1- x As/GaAs single crystal film grown by multi-substrate liquid phase epitaxy |
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| CHEN Tingjin YUAN Hairong LIU Xiang. Al x Ga 1- x As/GaAs single crystal film grown by multi-substrate liquid phase epitaxy[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1998, 19(5): 304-307 |
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| Authors: | CHEN Tingjin YUAN Hairong LIU Xiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Liquid Phase Epitaxy Single Crystal Film Compound Semiconductor Solar Cell |
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