| 分布式多元胞集成半导体放电管的设计与工艺 |
| |
| 引用本文： | 唐政维,徐佳,张志华,左娇,谢欢,罗嵘.分布式多元胞集成半导体放电管的设计与工艺[J].微电子学,2012,42(5):721-724. |
| |
| 作者姓名： | 唐政维 徐佳 张志华 左娇 谢欢 罗嵘 |
| |
| 作者单位： | 重庆邮电大学光电工程学院,重庆,400065 |
| |
| 基金项目： | 重庆市科技攻关计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种分布式多元胞集成半导体放电管的结构设计和工艺方法。在保持传统单元胞放电管器件表面总面积和放电管纵向剖面NPNPN五层结构不变的情况下,将放电管发射区等分成2(N+1)2个(N取0,1,2,3,4),构成在基区中心对称的多元胞结构。该结构优化了放电管阴极发射区的分布,使浪涌电流在整个芯片平面上趋于均匀,降低了发射区的热量集中效应;同时增加了电流放大系数,减少了放电管的开通时间。采用镓扩散、玻璃钝化等工艺流程,制作出分布式多元胞集成半导体放电管,解决了单元胞放电管散热不均匀、响应速度慢及可靠性差的问题。雷电波冲击电流测试表明,该结构提高了器件的抗电涌能力,可广泛应用于通信领域的雷电防护。
|
| 关 键 词： | 放电管 半导体器件 多元胞 |
Design and Process of Distributed Multi-Cell Integrated Semiconductor Arrester |
| |
| TANG Zhengwei
,
XU Jia
,
ZHANG Zhihua
,
ZUO Jiao
,
XIE Huan
,
LUO Rong.Design and Process of Distributed Multi-Cell Integrated Semiconductor Arrester[J].Microelectronics,2012,42(5):721-724. |
| |
| Authors: | TANG Zhengwei XU Jia ZHANG Zhihua ZUO Jiao XIE Huan LUO Rong |
| |
| Affiliation: | (College of Electronic Engineering,Chongqing University of Posts and Telecommunications,Chongqing 400065,P.R.China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
