| 余弦光-液耦合喷嘴参数优化及射流抛光实验 |
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| 引用本文： | 徐国敏,戴旭杰,姚统,宋孝宗.余弦光-液耦合喷嘴参数优化及射流抛光实验[J].现代制造工程,2019(5):52-56. |
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| 作者姓名： | 徐国敏 戴旭杰 姚统 宋孝宗 |
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| 作者单位： | 兰州理工大学机电工程学院,兰州,730050;兰州理工大学机电工程学院,兰州,730050;兰州理工大学机电工程学院,兰州,730050;兰州理工大学机电工程学院,兰州,730050 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;甘肃省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用流体力学模拟方法,建立了非淹没射流的计算流体动力学(Computational Fluid Dynamics,CFD)模型,研究了在紫外光诱导纳米颗粒胶体射流抛光过程中,使用参数优化前后的余弦光-液耦合喷嘴进行抛光加工的冲击动力学,对比分析了在非淹没射流下参数优化前后余弦光-液耦合喷嘴流场分布的能量特征以及压力分布情况,并使用参数优化后的余弦光-液耦合喷嘴对单晶硅材料表面进行抛光实验。仿真结果表明,胶体束在参数优化后的喷嘴内能够获得更大的出口速度,其最大值v=146.621m/s;抛光实验结果表明,相较于抛光前,抛光后的工件表面粗糙度降低了2.78nm。
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| 关 键 词： | 计算流体动力学 射流喷嘴 田口优化 纳米颗粒胶体 能量特征 |
Parameter optimization of cosine light-liquid coupling nozzle and polishing experiment |
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| Xu Guomin,Dai Xujie,Yao Tong,Song Xiaozong.Parameter optimization of cosine light-liquid coupling nozzle and polishing experiment[J].Modern Manufacturing Engineering,2019(5):52-56. |
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| Authors: | Xu Guomin Dai Xujie Yao Tong Song Xiaozong |
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| Affiliation: | (School of Mechanical and Electronical Engineering,Lanzhou University of Technology,Lanzhou 730050,China) |
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| Abstract: | Xu Guomin;Dai Xujie;Yao Tong;Song Xiaozong(School of Mechanical and Electronical Engineering,Lanzhou University of Technology,Lanzhou 730050,China) |
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| Keywords: | Computational Fluid Dynamics (CFD) jet nozzle Taguchi optimization nanoparticle colloid energy characteristic |
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