| 镀膜工艺与镀膜系统配置 |
| |
| 引用本文： | 伊恩·史蒂文森,弗兰克·泽蒙,戴尔·莫顿.镀膜工艺与镀膜系统配置[J].真空科学与技术学报,2003,23(6):443-448. |
| |
| 作者姓名： | 伊恩·史蒂文森 弗兰克·泽蒙 戴尔·莫顿 |
| |
| 作者单位： | 美国丹顿真空设备有限公司北京代表处,北京市宣武门外大街6号,庄胜广场办公楼第一座908,北京,100052 |
| |
| 摘 要： | 在过去的 15～ 2 0年中 ,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前 ,一般的镀膜机都是纯人工操作 ,最先进的也只是半自动控制 ,都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在 ,高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块 (子系统 )的全自动系统。这些智能模块 (子系统 )通常在多个微处理器的指令下结成局域网 (LAN) ,而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户对设备性能的完善性要求越来越高 ,现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时 ,还要求厂家提供相关工艺技术。本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件 ,以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。尽管其他技术日渐流行 ,但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段 ,因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术。
|
| 关 键 词： | 光学镀膜机 薄膜性能 公差三角形 工艺与结构 |
| 文章编号： | 0253-9748(2003)06-0443-06 |
| 修稿时间： | 2003年6月9日 |
Process & Configuration of Vacuum Coating System |
| |
| Ian Stevenson,Frank Zimone & Dale Morton.Process & Configuration of Vacuum Coating System[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2003,23(6):443-448. |
| |
| Authors: | Ian Stevenson Frank Zimone & Dale Morton |
| |
| Affiliation: | Ian Stevenson,Frank Zimone * & Dale Morton |
| |
| Abstract: | The latest progress in the optical coating technologies and its vacuum system configuration was reviewed with attention focussed on widely used vacuum deposition |
| |
| Keywords: | Optical coating system Thin film performance The tolerance triangle Process & configuration |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
