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| SU-8光刻胶玻璃化转变温度及力学性能的分子动力学模拟 | |
| 作者姓名： | 尚海鑫 褚金奎 高佳丽 |
| 作者单位： | 大连理工大学教育部精密与特种加工重点实验室;大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目(2011CB302101,2011CB302105);国家自然科学基金资助项目(51175056) |
| 摘 要： | 基于COMPASS分子力场,经过分子聚合,能量最小化和退火模拟等构建SU-8光刻胶模型。利用分子动力学的研究方法,模拟研究了SU-8胶的玻璃化转变温度及其主要的影响因素;同时计算了在室温条件下交联SU-8胶的杨氏模量、泊松比、剪切模量、体积模量等力学性能。结果表明,模拟得到的玻璃化转变温度和力学性能与实验结果相一致;非键能是导致非交联SU-8胶玻璃化转变的主要因素之一。 |
| 关 键 词： | SU-光刻胶 分子动力学 玻璃化转变 力学性能 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |