| 多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 蒙志林,赵广彬,葛高峰,谭刚,廖凤娟.多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究[J].真空,2013,50(3). |
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| 作者姓名： | 蒙志林 赵广彬 葛高峰 谭刚 廖凤娟 |
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| 作者单位： | 西华大学材料科学与工程学院,四川成都,610039 |
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| 基金项目： | "高档数控机床与基础制造装备"科技部重大专项(2009ZX04012-23)资助.四川省特种材料及制备技术重点实验室经费资助 |
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| 摘 要： | 采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜.利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N.
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 TiN/TiCrN/CrN 多元多层复合膜 |
The preparation and properties of TiN/TiCrN/CrN multiple multi-layer composite film by multi-arc ion plating |
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| MENG Zhi-lin
,
ZHAO Guang-bin
,
GE Gao-feng
,
TAN Gang
,
LIAO Feng-juan.The preparation and properties of TiN/TiCrN/CrN multiple multi-layer composite film by multi-arc ion plating[J].Vacuum,2013,50(3). |
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| Authors: | MENG Zhi-lin ZHAO Guang-bin GE Gao-feng TAN Gang LIAO Feng-juan |
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