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| 复合型便携式真空计校准装置 | |
| 引用本文： | 卢耀文,陈旭,李得天,齐京,查良镇. 复合型便携式真空计校准装置[J]. 真空, 2013, 50(3): 1-5 |
| 作者姓名： | 卢耀文 陈旭 李得天 齐京 查良镇 |
| 作者单位： | 1. 清华大学,北京,100084 2. 兰州物理研究所,甘肃兰州,730000 |
| 摘 要： | 在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置。将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围。实验结果表明,装置的校准范围为105Pa～10-5Pa,合成标准不确定度为1.3%～2.5%。装置的外形尺寸为450 mm×400 mm×750 mm,总重量小于35 kg,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准。 |
| 关 键 词： | 校准装置 校准方法 便携式 真空计 |
A compound and portable vacuum gauge calibration apparatus |
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| LU Yao-wen , CHEN Xu , LI De-tian , QI Jing , CHA Liang-zhen. A compound and portable vacuum gauge calibration apparatus[J]. Vacuum(China), 2013, 50(3): 1-5 | |
| Authors: | LU Yao-wen CHEN Xu LI De-tian QI Jing CHA Liang-zhen |
| Affiliation: | 1(1.Tsinghua University,Beijing 100084,China;2.Lanzhou Institute of Physics,Lanzhou 730000,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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