| 恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板 |
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| 引用本文： | 邵增军,彭智,宋国君,李晓茹,王树龙.恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板[J].功能材料,2009,40(2). |
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| 作者姓名： | 邵增军 彭智 宋国君 李晓茹 王树龙 |
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| 作者单位： | 青岛大学,高分子材料研究所,山东,青岛,266071
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| 摘 要： | 采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图案,用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长AAO,以此模板制备了PS和Cu纳米线阵列.采用扫描电子显微镜(SEM)分析.结果表明,制备的图案是直径5μm的圆形组成,圆形图案中·心之间距离是10μm,每个圆中生长了均匀的AAO,孔径大约为60～80nm.
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| 关 键 词： | 紫外光 一维纳米结构 光刻胶 图案化模板 |
Preparation of patterned anodic aluminum oxide template by constant current density process |
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| SHAO Zeng-jun,PENG Zhi,SONG Guo-jun,LI Xiao-ru,WANG Shu-long.Preparation of patterned anodic aluminum oxide template by constant current density process[J].Journal of Functional Materials,2009,40(2). |
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| Authors: | SHAO Zeng-jun PENG Zhi SONG Guo-jun LI Xiao-ru WANG Shu-long |
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| Affiliation: | Institute of Polymer Materials;Qingdao University;Qingdao 266071;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultraviolet radiation one-dimensional nanostructures photoresist patterned templates |
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