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扩散硅固体压力传感器
引用本文:
车军.扩散硅固体压力传感器[J].仪表技术与传感器,1979(5).
作者姓名:
车军
作者单位:
沈阳仪器仪表工艺研究所
摘 要:
扩散硅固体压力传感器是七十年代出现的新型仪表组件。本文介绍扩散硅压力传感器的特点及用途,传感器的设计理论和计算方法,压阻器件的设计原理,量程估计的简易公式,以及传感器的性能指标与应用结果等。该传感器经鉴定,精度达到千分之一。
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