摘 要: | 公开号:1194309公开日:19980930发明名称:电子元件的FeNi合金发明人:小野俊之深町一彦本发明提供用于电子元件的具有提高的蚀刻系数的FeNi合金材料,其特征是按重量计其由30%~55%的Ni,0.8%或更少的Mn,0.0030%~00100%的N,002%或更少的Al,剩余量的Fe和不可避免的杂质组成,并量好有001%或更少的C,003%或更的Si,0.005%或更少的S,0.005%或更少的P,00100%或更少的O 。通过将N和Al含量限制在一定的范围内,并最好将C,Si,P,S和O的含量限制在一定的水平以下,FeNi合金材料具有很高的蚀刻系数,…
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