| 微结构气体传感器的加热器设计与模拟 |
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| 引用本文： | 张彤,杨广立,李春明,徐宝琨.微结构气体传感器的加热器设计与模拟[J].测控技术,2004,23(5):12-13. |
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| 作者姓名： | 张彤 杨广立 李春明 徐宝琨 |
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| 作者单位： | 吉林大学,电子科学与工程学院,吉林,长春,130023;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;吉林大学,电子科学与工程学院,吉林,长春,130023 |
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| 摘 要： | 利用有限元分析工具ANSYS,对所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟.运用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型,采用8节点等参数热单元solid70进行了分析.根据器件工作时需要的加热功率,设计了这种硅基气体传感器衬底微加热器的尺寸,确立了对流和环境温度等边界条件,从而达到气体传感器衬底的温度场分布均匀的要求.
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| 关 键 词： | 硅基 气体传感器 微加热器 有限元分析 温度分布 |
| 文章编号： | 1000-8829(2004)05-0012-02 |
| 修稿时间： | 2003年11月24日 |
Simulation and design of Micro-Hotplate of Micro-Structure Gas Sensor Based on Si-Substrate |
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