| HgCdTe分子束外延柔性制造技术研究 |
| |
| 引用本文： | 何力,杨建荣,王善力,巫艳,方维政,张勤跃. HgCdTe分子束外延柔性制造技术研究[J]. 高技术通讯, 1999, 9(3): 1-6 |
| |
| 作者姓名： | 何力 杨建荣 王善力 巫艳 方维政 张勤跃 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所半导体薄膜材料研究中心及红外物理国家重点实验室 |
| |
| 基金项目： | 863计划,国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 报道了近年来在ＨｇＣｄＴｅ分子束外延柔性制造技术研究中取得的初步结果，并对面临的任务进行了讨论。研究表明：ＨｇＣｄＴｅ分子束外延薄膜具有很好的组分均匀性、表面形貌、电学参数以及组分可重复性。用分子束外延ＨｇＣｄＴｅ薄膜成功地研制出了３２×３２红外焦平面器件。
|
| 关 键 词： | 分子束外延 焦平面探测器 红外探测器 HgCdTe |
MBE Flexible Technology for HgCdTe Manufacturing |
| |
| He Li,Yang Jianrong,Wang Shanli,Wu Yan,Fang Weizheng,Zhang Qinyao. MBE Flexible Technology for HgCdTe Manufacturing[J]. High Technology Letters, 1999, 9(3): 1-6 |
| |
| Authors: | He Li Yang Jianrong Wang Shanli Wu Yan Fang Weizheng Zhang Qinyao |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MBE Focal plane arrays HgCdTe |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
