绝缘材料聚酰亚胺薄膜的二次电子发射特性

本文改进了二次电子收集的方式和结构。在测量手段上采用了双路瞬态单次脉冲记录方法。给出了对聚酰亚胺薄膜的测试结果,指出其发射特性遵从σ=1.08×1/E~(n-1)的关系,其中n=1.28。本文还计算了千电子伏能量电子在此薄膜中的阻滞本领、射程与能量的关系。还估计了二次电子的逃逸深度。