| LIGA技术制作微反应器的研究 |
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| 引用本文： | 刘刚,田扬超,张新夷.LIGA技术制作微反应器的研究[J].微细加工技术,2002(2):68-71. |
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| 作者姓名： | 刘刚 田扬超 张新夷 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029 |
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| 摘 要： | 介绍了微反应器的基本原理，根据化学反应传质和传热的需求，对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计，并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器。
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| 关 键 词： | LIGA技术 微反应器 微管道 微电子机械系统 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)02-0068-04 |
| 修稿时间： | 2001年10月8日 |
Study on Fabrication of Microreactor by LIGA Technique |
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| LIU Gang,TIAN Yang-chao,ZHANG Xin-yi.Study on Fabrication of Microreactor by LIGA Technique[J].Microfabrication Technology,2002(2):68-71. |
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| Authors: | LIU Gang TIAN Yang-chao ZHANG Xin-yi |
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| Abstract: | The principle of microreactor is presented.The structure and size of microchannels are designed and given according to the requirements of mass and heat transfer in chemical reaction.A kind of microreactor for catalytic reaction has been developed by LIGA technique. |
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| Keywords: | s:microreactor microchannels LIGA technique |
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