感应耦合等离子休技术用于熔融石英表面凹凸光栅的刻蚀 |
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引用本文: | 王顺权,周常河,茹华一,张妍妍.感应耦合等离子休技术用于熔融石英表面凹凸光栅的刻蚀[J].激光与光电子学进展,2004,41(11):36-40. |
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作者姓名: | 王顺权 周常河 茹华一 张妍妍 |
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摘 要: | 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是一种新的干法刻蚀技术,具有刻蚀速率高和各向异性刻蚀等优点,并且能够独立控制等离子体密度和自偏置电压。然而,在利用这种技术进行刻蚀的过程中,经常会发生聚合物的沉积,从而阻碍了刻蚀过程的继续。我们报道了在熔融石英表面刻蚀光栅时不产生聚合物沉积的技术,给出了优化参数。所制作的熔融石英普通光栅和600线/mm的高密度光栅的表面很干净,没有聚合物沉积。光栅衍射效率的实际测量值和预期的理论值吻合得很好。最后还研究了ICP技术的刻蚀速度.刻蚀均匀性和过程可重复性等参数。
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关 键 词: | 刻蚀技术 光栅衍射 刻蚀速率 干法刻蚀 偏置电压 等离子体密度 各向异性刻蚀 感应耦合等离子体 熔融石英 表面 |
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