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气体微流量测量及标准装置概论
引用本文:
李旺奎,刘强.气体微流量测量及标准装置概论[J].真空,1997(2):1-11.
作者姓名:
李旺奎
刘强
作者单位:
兰州物理研究所
摘 要:
本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。
关 键 词:
气体微流量
真空测量
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