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涡轮分子泵三维叶列抽气性能简化计算的几率矩阵法
作者姓名:杨乃恒
作者单位:东北工学院真空教研室 沈阳110006
摘    要:
为了进一步提高泵的性能,现代涡轮分子泵的叶列形状越来越复杂,因此现有的一些计算方法使用时有一定的困难。然而,Y·Wu[1][2]提出的几率矩阵法能有效地解决各种复杂形状的叶列性能计算问题,但计算的工作量比较大,尤其是将二维模型改为三维的模型时,这个问题就更为突出。为此,我们利用简化的几率矩阵法,解决了三维模型的计算问题,节省了计算时间,理论计算与实验结果基本上一致[3]。

关 键 词:分子泵 抽气 性能 计算 叶列
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