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| 不同底层对CoFeB/Pt多层膜垂直磁各向异性的影响研究 | |
| 作者单位： | ;1.北京工商大学理学院 |
| 摘 要： | 采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了以Ru,Cu,Pt和Ta为底层的Co Fe B/Pt多层膜样品,研究了各底层对Co Fe B/Pt多层膜的反常霍尔效应的影响。发现Ru和Cu作为Co Fe B/Pt多层膜的底层在保持样品的垂直磁各向异性方面的作用远不如Pt和Ta底层,而且样品的霍尔电阻比Pt和Ta做底层要小。Ta作为Co Fe B/Pt多层膜的底层与Pt作为底层相比能够更好地和多层膜晶格匹配,并且在400℃退火后反常霍尔效应得到增强。霍尔电阻提高近80%,矫顽力达到了5.7×10~3 A·m~(–1),有望作为垂直自由层应用到磁隧道结构中。 |
| 关 键 词： | CoFeB/Pt多层膜 反常霍尔效应 垂直磁各向异性 底层 热稳定性 磁隧道结 |
Perpendicular magnetic anisotropy in CoFeB/Pt multilayers with different underlayers |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |