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不同厚度GaAs覆盖层对自组织生长InAs量子点退火效应的影响
引用本文:王志明,吕振东,封松林,赵谦,李树英,吉秀江,陈宗圭,徐仲英,郑厚植.不同厚度GaAs覆盖层对自组织生长InAs量子点退火效应的影响[J].半导体学报,1997,18(9):714-717.
作者姓名:王志明  吕振东  封松林  赵谦  李树英  吉秀江  陈宗圭  徐仲英  郑厚植
作者单位:中国科学院半导体研究所
摘    要:本文利用光致发光测量了不同厚度GaAs覆盖层对自组织生长InAs量子点退火效应的影响.退火使量子点发光峰蓝移,发光强度减弱.深埋的量子点承受更大的应变,应变使退火引起的互扩散加强.GaAs盖层越厚,量干点的互扩散越明显,发光峰蓝移越显著,并由此导致了发光峰半高宽的不同变化.

关 键 词:砷化镓  量子点退火效应  自组织生长  厚度
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