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真空设备的检修技术
作者姓名:贺贤能
摘    要:
本文重点介绍真空镀膜设备的检修技术。真空镀膜设备故障的判断是检修中的重要环节。一个实践经验丰富的检修者,常常可以在短时间内找出复杂设备的故障所在,因而收到事半功倍的效果。要做到这点,检修人员除要掌握必要的真空知识外,还要熟悉各种设备的结构、

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