| MEMS压阻式加速度传感器的优化设计 |
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| 引用本文： | 杜春晖,何常德,葛晓洋,于佳琪,熊继军,张文栋.MEMS压阻式加速度传感器的优化设计[J].压电与声光,2012,34(6):848-852. |
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| 作者姓名： | 杜春晖 何常德 葛晓洋 于佳琪 熊继军 张文栋 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学测试技术重点实验室,山西太原030051
2. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家"八六三"计划基金资助项目，国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器,该传感器采用“四悬臂梁-质量块”结构,16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区,既提高了传感器的灵敏度,又降低了轴间耦合度和非线性度.通过与八悬臂梁结构的仿真对比,得出该传感器具有更高的抗横向耦合性,约为八悬臂梁结构的30倍.
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| 关 键 词： | 电阻对称分布 抗耦合性 压阻式 三维 加速度传感器 |
Optimization Design of MEMS Piezoresistive Acceleration Sensor |
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| DU Chunhui,HE Changde,GE Xiaoyang,YU Jiaqi,XIONG Jijun and ZHANG Wendong.Optimization Design of MEMS Piezoresistive Acceleration Sensor[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2012,34(6):848-852. |
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| Authors: | DU Chunhui HE Changde GE Xiaoyang YU Jiaqi XIONG Jijun and ZHANG Wendong |
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| Affiliation: | (1.Key Lab. of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education, North University of China, Taiyuan 030051, China;;2. Key Lab. of Science and Technology on Electronic Test & Measurement, North University of China, Taiyuan 030051, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | varistor symmetric distribution anti coupling piezoresistive three dimensional acceleration sensor |
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