| 基于介质上电润湿的液滴产生器的研究 |
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| 作者姓名： | 岳瑞峰 吴建刚 曾雪锋 康明 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084;清华大学微电子学研究所,北京,100084;清华大学微电子学研究所,北京,100084;清华大学微电子学研究所,北京,100084;清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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清华大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的"三明治"结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30 nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10 Hz 70 V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发.
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| 关 键 词： | 介质上电润湿 液滴的操纵与控制 数字微流控系统 芯片实验室 |
| 文章编号： | 1005-9490（2007）01-0041-05 |
| 修稿时间： | 2005-12-19 |
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