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| 新型Al金属化系统微波器件EB结的可靠性研究 | |
| 引用本文： | 郭伟玲,李志国,孙英华,程尧海.新型Al金属化系统微波器件EB结的可靠性研究[J].半导体技术,1997(3). |
| 作者姓名： | 郭伟玲 李志国 孙英华 程尧海 |
| 作者单位： | 北京工业大学电子工程系可靠性物理室 |
| 摘 要： | 对具有Ａｌ－Ｓｉ－Ｐｄ／ＴｉＮ／Ｔｉ／ＰｔＳｉ／Ｓｉ（样品Ａ）和Ａｌ－Ｓｉ－Ｐｄ／Ｔｉ／ＰｔＳｉ／Ｓｉ（样品Ｂ）两种新型金属化结构的微波管的ＥＢ结在不同温度、相同电流条件下进行了加速寿命试验，得到其中值寿命（ＭＴＦ）相差近一倍，激活能分别为０．９２和０．７９ｅＶ，并给出了在温度和电流应力下ＥＢ结反向击穿特性的变化规律 |
| 关 键 词： | 金属化系统 微波器件 可靠性 |
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