| 基于SOC的有机膜REFETs研究 |
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| 引用本文： | 汪祖民,韩泾鸿,任振兴,杨海钢,夏善红. 基于SOC的有机膜REFETs研究[J]. 纳米技术与精密工程, 2006, 4(3): 208-211 |
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| 作者姓名： | 汪祖民 韩泾鸿 任振兴 杨海钢 夏善红 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100080;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 摘 要： | ![]()
由于传统参比电极的大尺寸及液接盐桥的存在，限制了ISFET向着小型化、集成化方向发展．研制了一种采用0．35μm标准CMOS工艺制造的，集ISFET／REFET及其信号检测、处理电路于一体的生化SOC（systemonchip）．REFET是该生化SOC采用差分测试方法省略参比电极的关键．介绍了几种有机物材料作为钝化膜的RE—FET．分析比较了各种制备REFET钝化膜的工艺特点及膜的功能特点．实验结果表明，以PTFE为钝化膜的REFET对pH的响应可达到0．39mV／pH，这表明PTFE膜是一种较为理想的pH钝化材料．
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| 关 键 词： | 片上系统 参比场效应管 钝化膜 聚四氟乙烯 |
| 文章编号： | 1672-6030（2006）03-0208-04 |
| 收稿时间： | 2006-06-25 |
| 修稿时间： | 2006-06-25 |
Development of the REFETs with Organic Materials Based on SOC |
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| WANG Zu-min,HAN Jing-hong,REN Zhen-xing,YANG Hai-gang,XIA Shan-hong. Development of the REFETs with Organic Materials Based on SOC[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2006, 4(3): 208-211 |
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| Authors: | WANG Zu-min HAN Jing-hong REN Zhen-xing YANG Hai-gang XIA Shan-hong |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | SOC (system-on-chip) reference field effect transistor passive membrane PTFE |
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