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| 变形电子束曝光技术——扫描电子束曝光技术的新阶段 | |
| 引用本文： | 何福民,那兆凤.变形电子束曝光技术——扫描电子束曝光技术的新阶段[J].电工电能新技术,1983(3). |
| 作者姓名： | 何福民 那兆凤 |
| 作者单位： | 中国科学院电工研究所 (何福民)，中国科学院电工研究所(那兆凤) |
| 摘 要： | 半导体集成电路的发展,特别是大规模、超大规模集成电路的发展,在国民经济、军事及日常生活的各个方面都引起了深刻的变化。国外权威人士的看法是“谁控制了半导体工业,谁就控制了世界产业”。它清楚地说明了作为现代工业的基础之一——半导体集成电路 |
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