| 圆柱谐振腔式微波等离子体金刚石膜CVD沉积室的FDTD模拟与优化 |
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| 引用本文： | 王凤英,唐伟忠,孟宪明.圆柱谐振腔式微波等离子体金刚石膜CVD沉积室的FDTD模拟与优化[J].真空科学与技术学报,2008,28(6). |
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| 作者姓名： | 王凤英 唐伟忠 孟宪明 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术被认为是制备高质量金刚石膜的一种最重要的技术手段。对微波等离子体金刚石膜沉积装置进行模拟与优化,可大大减少设计和改进MPCVD装置时所需要的时间与成本。本文在结合使用谐振腔质量因子和沉积台上方等离子体的密度与分布两个优化判据的基础上,采用Matlab语言和时域有限差分方法,模拟了圆柱谐振腔式微波等离子体金刚石膜沉积装置,并对其主要尺寸进行了优化。
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| 关 键 词： | 金刚石 膜微波等离子体 谐振腔 时域有限差分法 模拟优化 |
Simulation and Optimization of Cylindrical Microwave Plasma Reactor for CVD Diamond Fihn Growth |
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| Wang Fengying,Tang Weizhong,Meng Xianming.Simulation and Optimization of Cylindrical Microwave Plasma Reactor for CVD Diamond Fihn Growth[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2008,28(6). |
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| Authors: | Wang Fengying Tang Weizhong Meng Xianming |
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