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| 压电传感器材料的铁电特性研究 | |
| 引用本文： | 邵春玉,王兢,刘梦伟,董维杰. 压电传感器材料的铁电特性研究[J]. 仪器仪表学报, 2006, 27(Z1): 302-303 |
| 作者姓名： | 邵春玉 王兢 刘梦伟 董维杰 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023 2. 大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023;辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学,大连,116023 3. 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学,大连,116023 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(90207003)资助项目 |
| 摘 要： | 本文采用溶胶-凝胶工艺制备了不同Mn离子掺杂浓度的PZT薄膜.研究了不同掺杂浓度对压电传感器薄膜铁电特性的影响.试验结果表明当Mn离子含量较少时,Mn在PZT中主要表现施主掺杂特性,薄膜铁电性能提高;而当浓度增大时,薄膜性能降低. |
| 关 键 词： | 压电材料 PZT 铁电性 Mn |
Investigation of ferroelectric properties of piezoelectric sensor |
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| Shao Chunyu,Wang Jing,Liu Mengwei,Dong Weijie. Investigation of ferroelectric properties of piezoelectric sensor[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2006, 27(Z1): 302-303 | |
| Authors: | Shao Chunyu Wang Jing Liu Mengwei Dong Weijie |
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| Keywords: | |
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