| 采用微刀具的菲涅耳器件超精密制造方法 |
| |
| 引用本文： | 张效栋,房丰洲,程颖,徐宗伟,张少婧,魏桂爽.采用微刀具的菲涅耳器件超精密制造方法[J].红外与激光工程,2010,39(3). |
| |
| 作者姓名： | 张效栋 房丰洲 程颖 徐宗伟 张少婧 魏桂爽 |
| |
| 作者单位： | 天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津微纳制造工程技术中心,天津300072 |
| |
| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目，国家自然基金重大研究计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件.其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点.文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工,采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域,并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制备.对所提出方法的关键技术和制造工艺进行了详细论述.对不同应用领域的两类菲涅耳器件进行加工实验.并建立光学测试平台进行光学性能分析.实验结果表明:所提出的方法可满足菲涅耳器件的应用需求.
|
| 关 键 词： | 菲涅耳镜加工 超精密车削 微刀具 |
Ultra-precision machining of Fresnel elements fabricated by micro tools |
| |
| ZHANG Xiao-dong,FANG Feng-zhou,CHENG Ying,XU Zong-wei,ZHANG Shao-jing,WEI Gui-shuang.Ultra-precision machining of Fresnel elements fabricated by micro tools[J].Infrared and Laser Engineering,2010,39(3). |
| |
| Authors: | ZHANG Xiao-dong FANG Feng-zhou CHENG Ying XU Zong-wei ZHANG Shao-jing WEI Gui-shuang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
