摘 要: | 以五水四氯化锡,钛酸四正丁酯为原料,采用水热法制备出二氧化锡和二氧化钛摩尔比分别为2∶1;6∶1;8∶1的氧化钛、氧化锡复合纳米粉,分别将这3种复合纳米粉体涂敷在平面叉指金电极表面制成湿度敏感元件.采用复阻抗法测试了各元件对湿度的湿敏性能;对元件的灵敏度,响应及恢复特性进行了研究;分析了氧化钛掺杂量、工作频率对湿敏元件湿敏性能的影响.结果表明复合材料的阻抗值随工作频率和相对湿度的减小而增大,在低湿、低频下薄膜的阻抗值达到最大;氧化钛的加入改善了二氧化锡基薄膜的湿敏性能;二氧化锡和二氧化钛摩尔比为6∶1的薄膜表现出最高的灵敏度,当相对湿度从11%变化为95%时,元件的灵敏度达到12 080,具有较短的响应时间和恢复时间.
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