进一步提高我国分子束外延技术的探讨 |
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引用本文: | 孔梅影,梁基本.进一步提高我国分子束外延技术的探讨[J].高技术通讯,1994,4(1):39-41. |
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作者姓名: | 孔梅影 梁基本 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所 |
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摘 要: | 进一步提高我国分子束外延技术的探讨孔梅影,梁基本,曾一平(中国科学院半导体研究所北京100083)十多年来,我国的分子束外延(MBE)技术从无到有,并不断改进提高,取得很大的进展。在中国科学院一些单位的共同努力下,我国先后发展了Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ四种型号...
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关 键 词: | 分子束外延 中国 半导体材料 |
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