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碳纳米管薄膜的制备及处理对场发射特性的影响
作者姓名:田时开  江天府  杨兴华  曾葆青
作者单位:中国民航飞行学院计算机学院,四川,广汉,618307;电子科技大学物理电子学院,成都,610054
摘    要:采取直接在硅片上真空蒸镀NiCr合金作为催化剂,用化学气相沉积法制备了碳纳米管薄膜。并采用H2等离子体球处理碳纳米管薄膜,测试其场发射特性,并与未经处理的碳纳米管薄膜进行了比较,得到碳纳米管薄膜开启场强有所降低,为1~1.2 V/μm。对碳纳米管薄膜进行老炼处理,最大场发射电流由12.3 μA提高到34 μA。

关 键 词:碳纳米管  场发射  化学气相沉积法  老炼
收稿时间:2005-05-13
修稿时间:2005-05-13
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