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| 有限元法在MEMS安全系统仿真中的应用 | |
| 引用本文： | 刘小岗,施坤林,牛兰杰,赵旭,王发林. 有限元法在MEMS安全系统仿真中的应用[J]. 探测与控制学报, 2006, 28(1): 14-16 |
| 作者姓名： | 刘小岗 施坤林 牛兰杰 赵旭 王发林 |
| 作者单位： | 西安机电信息研究所,陕西,西安,710065 |
| 摘 要： | 有限元法是MEMS安全系统仿真的基本方法。以大型有限元仿真软件ANSYS／LS-DYNA为工具，应用动力学运动方程的直接积分方法（中心差分法）求解运动方程。对设计方案进行了说明。 |
| 关 键 词： | MEMS 有限元法 ANSYS／LS—DYNA 安全系统 |
| 文章编号： | 1008-1194（2006）01-0014-03 |
| 收稿时间： | 2005-11-15 |
| 修稿时间： | 2005-11-15 |
Emulating MEMS S&A by Finite Element Method |
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| LIU Xiao-gang,SHI Kun-lin,NIU Lan-jie,ZHAO Xu,WANG Fa-lin. Emulating MEMS S&A by Finite Element Method[J]. Journal of Detection & Control, 2006, 28(1): 14-16 | |
| Authors: | LIU Xiao-gang SHI Kun-lin NIU Lan-jie ZHAO Xu WANG Fa-lin |
| Abstract: | Finite element method is a basic way on the emulation of MEMS S&A.With famous finite element emulation software,ANSYS/LS-DYNA we can solve motion equations by center difference method.At last,the design scheme of the MEM S&A is illuminated. |
| Keywords: | MEMS finite element method ANSYS/LS-DYNA S&A |
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