| 半自动弯针机的设计与实现——用于悬臂式环氧树脂探针卡的制造 |
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| 引用本文： | 李健,孙兵.半自动弯针机的设计与实现——用于悬臂式环氧树脂探针卡的制造[J].工业控制计算机,2007,20(11):35-35,49. |
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| 作者姓名： | 李健 孙兵 |
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| 作者单位： | 1. 泉瑞科技有限公司,江苏,苏州,215021
2. 苏州大学电子信息学院,江苏,苏州,215021 |
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| 摘 要： | 首先介绍了在半导体芯片制造中,环氧树脂探针卡的作用及其制作工艺.基于探针的弯曲需严格符合一定的设计规格,阐述了半自动弯针机的设计,详细说明基于MicroLynx控制器对步进电机的控制,实现对探针的针尖长度及弯曲角度的精确控制.该项技术已应用于探针卡的实际生产中.
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| 关 键 词： | 弯针机 可编程控制器 人机界面 转义码 |
| 收稿时间： | 2007-05-14 |
| 修稿时间： | 2007年5月14日 |
Semi-auto Probe Bender for Cantilever Probe Card Manufacturing |
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| Abstract: | The Cantilever probe card used in semiconductor wafer testing is introduced in this paper.Based on the high precision requirement of probe bending,the semi-auto probe bender is described.The PLC based control system is analyzed in details,for the control of tip length and bend angle of probes.The semi-auto Probe Bender is implemented on the production to meet process improvement goal. |
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| Keywords: | Probe Bender PLC HMI ESCAPE CODE |
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