| MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析 |
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| 引用本文： | 孔龄婕,贺婷,陈东红,燕乐,张鹏,丑修建.MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析[J].红外技术,2015(6):492-495. |
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| 作者姓名： | 孔龄婕 贺婷 陈东红 燕乐 张鹏 丑修建 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国防重点实验室，仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西太原 030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，编号51275492；中国博士后科学基金特别资助项目，编号2013T60557；中国博士后科学基金面上资助项目，编号2012T52118；江苏省博士后科研资助计划项目，编号1201038C。 |
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| 摘 要： | 红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键,准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜,使红外光线收敛呈准直辐射;由MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径r=6.48 mm,透镜焦距f=7.2 mm,透镜厚度d'≤2 mm,用Zemax光学软件仿真优化,得出中间层厚度d=0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证,为定向辐射MEMS红外光源研发提供最优的原型尺寸参数,极大提高设计效率。
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| 关 键 词： | MEMS红外光源 准直透镜 聚光封装 收敛辐射 |
Design and Analysis of Directional Radiation Structure of MEMS Infrared Light Source |
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| KONG Ling-jie,HE Ting,CHEN Dong-hong,YAN Le,ZHANG Peng,CHOU Xiu-jian.Design and Analysis of Directional Radiation Structure of MEMS Infrared Light Source[J].Infrared Technology,2015(6):492-495. |
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| Authors: | KONG Ling-jie HE Ting CHEN Dong-hong YAN Le ZHANG Peng CHOU Xiu-jian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS infrared source collimating encapsulation light-gathering package convergence of radiation |
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