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低温烘焙及氮化硅对放大系数β的影响
引用本文：张建平.低温烘焙及氮化硅对放大系数β的影响[J].电子,1991(1):26-30.
作者姓名：张建平
摘    要：
关 键 词：半导体器件  制造工艺  氮化硅  烘赔
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