|
|||||
|
|
| 新型集成压力传感器的研究 | |
| 引用本文： | 张维新,毛赣如,曲宏伟,姚素英,李建文.新型集成压力传感器的研究[J].半导体学报,1996,17(6):435-439. |
| 作者姓名： | 张维新 毛赣如 曲宏伟 姚素英 李建文 |
| 作者单位： | 天津大学电子工程系 |
| 摘 要： | 本文介绍一种新型集成压力传感器．它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起，制作触发器型集成压力传感器．文章对该类传感器的工作原理，电路结构进行了理论分析，并对实验结果进行了讨论．重点分析了噪声对传感器特性的影响，在测试电路中加入调控三角波电压，可以改善传感器的特性． |
| 关 键 词： | 集成压力传感器 传感器 集成电路 压力传感器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《半导体学报》下载全文 | |