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| MBE生长Zn_（1－x）Cd_xSe／ZnSe超晶格的SIMS和AES谱 | |
| 引用本文： | 叶海,陈云良,王海龙.MBE生长Zn_（1－x）Cd_xSe／ZnSe超晶格的SIMS和AES谱[J].半导体学报,1996,17(1):60-64. |
| 作者姓名： | 叶海 陈云良 王海龙 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 摘 要： | 本文简要叙述了运用ＭＢＥ技术成功生长出Ｚｎ１－ｘＣｄｘＳｅ／ＺｎＳｅ超晶格的一些工艺和参数，并对不同的样品进行了ＳＩＭＳ和ＡＥＳ的测试，首次测得了这种材料的元素分布，结果显示ＺｎＣｄＳｅ／ＺｎＳｅ超晶格有着良好的纵向元素分布． |
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