| 介电层造孔优化ITO-PET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感性能 |
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| 引用本文： | 蒋哲,康聿辰,杨涛,贺贝贝,梁景琪,赵子聪,余志超,李刚,王开鹰.介电层造孔优化ITO-PET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感性能[J].微纳电子技术,2023(6):839-846. |
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| 作者姓名： | 蒋哲 康聿辰 杨涛 贺贝贝 梁景琪 赵子聪 余志超 李刚 王开鹰 |
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| 作者单位： | 太原理工大学材料科学与工程学院能源革命创新研究院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61901293)；;山西省自然科学基金(2019L0316)；;山西省高校科技创新研究项目(201901D111090)； |
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| 摘 要： | 灵敏度是柔性压力传感器的重要性能指标，为了有效提高传感器的灵敏度，同时兼顾其他各性能，选用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为复合介电层材料、氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇脂(ITO-PET)作为电极材料、二亚硝基五亚甲基四胺(DPT)作为造孔试剂，通过介电层造孔的方式，尝试配置不同质量分数DPT的DPT-PDMS试剂来寻找最佳配比，使制备的ITO-PET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感器的灵敏度显著提高，在低压范围灵敏度达到了1.65 kPa-1,相较于没有造孔的PDMS电容式柔性压力传感器的灵敏度(0.36 kPa-1)提高了3.58倍，最终取得了灵敏度高、工作压力范围(0～8 kPa)宽、阻滞误差小、循环稳定性高、工作温度范围(0～80℃)广、响应时间(<65 ms)短的电容式压力传感特性。由此可见，对介电层造孔能够有效提高传感器的灵敏度，并且传感器的其他性能均表现良好。
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| 关 键 词： | 电容式柔性压力传感器 柔性材料 造孔 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 灵敏度 |
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