| MoSe2纳米球结构的制备及其对NO2的气敏性能 |
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| 引用本文： | 张向阳,李君,夏滔,熊长军,李廷鱼.MoSe2纳米球结构的制备及其对NO2的气敏性能[J].微纳电子技术,2023(4):609-614. |
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| 作者姓名： | 张向阳 李君 夏滔 熊长军 李廷鱼 |
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| 作者单位： | 太原理工大学信息与计算机学院纳米能源与器件实验室 |
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| 基金项目： | 山西省自然科学基金面上项目(20210302123157)；;国家级大学生创新创业训练计划(202110112018)； |
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| 摘 要： | 通过水热法制备了纳米球状MoSe2结构。使用扫描电子显微镜(SEM)对该材料的结构和形貌进行了表征。MoSe2纳米球状结构形貌均匀，其直径为200～300 nm。同时，利用叉指电极制作了基于MoSe2的气体传感器，并测试了其气敏性能。测试结果显示：在室温条件下，MoSe2传感器具有优异的气敏性能，能检测到极低体积分数的NO2,对体积分数6×10-8的NO2的响应为1.006 4,在空气中也能完全恢复。此外，该传感器还具有良好的响应/恢复特性、重复性、长期稳定性与选择性。最后结合电子转移理论，分析了MoSe2气体传感器对NO2气体的气敏机理。
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| 关 键 词： | 纳米球结构 气体传感器 水热法 MoSe2 NO2 |
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