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| 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究 | |
| 作者姓名： | 陈赟 张红胜 李艳茹 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 基金项目： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新项目(Y00332H100) |
| 摘 要： | 玻璃网格板是一种相互垂直的纵、横刻线的二维线纹标准器,用来检测航测仪器、遥感仪器和各类二维坐标测量仪器的精度,因此,它的精度直接影响待检仪器的精度。结合计量圆光栅的制作工艺,详细介绍了基于光刻胶的玻璃网格板新型制作工艺,检验结果表明该种工艺制作的玻璃网格板线条均匀,280mm内刻线间距精度小于1μm。 |
| 关 键 词： | 玻璃网格板 计量圆光栅 制作工艺 光刻胶 刻线间距 |
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