| 一种制备高质量ZnO薄膜的新型固相源 |
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| 引用本文： | 戴丽萍,邓宏,陈根,陈金菊.一种制备高质量ZnO薄膜的新型固相源[J].半导体学报,2007,28(Z1):271-274. |
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| 作者姓名： | 戴丽萍 邓宏 陈根 陈金菊 |
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| 作者单位： | 戴丽萍（电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054）;邓宏（电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054）;陈根（电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054）;陈金菊（电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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四川省应用基础研究计划 |
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| 摘 要： | 采用一种新型的单一固相源并利用单源化学气相沉积(SS CVD)技术,在Si(100)上制备出高质量的ZnO 薄膜.采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)和热重分析(TGA)表征源的化学和物理特性.FTIR测试表明该源具有新型的化学结构,其结构可用Zn4(OH)2(O2 CCH3)6·2H2O表示;TGA表明该源在常温下稳定,在211℃下能完全分解.所制备的ZnO薄膜采用X射线衍射、扫描电镜、X射线光电子能谱、光致发光谱进行了分析.分析结果表明,采用这种固相源能够制备出高质量的ZnP薄膜.
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| 关 键 词： | 固相源 SSCVD ZnO薄膜 光致发光 |
| 文章编号： | 0253-4177(2007)S0-0271-04 |
| 修稿时间： | 2006年12月29 |
A Novel Solid Source for Fabrication of High Quality ZnO Film |
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| Dai Liping,Deng Hong,Chen Gen,Chen Jinju.A Novel Solid Source for Fabrication of High Quality ZnO Film[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(Z1):271-274. |
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| Authors: | Dai Liping Deng Hong Chen Gen Chen Jinju |
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| Keywords: | |
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