| 采用流量计测量复合分子泵抽速装置研制 |
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| 引用本文： | 郭帅,周旭,池华敬,王双,陈革,章其初.采用流量计测量复合分子泵抽速装置研制[J].真空,2013,50(4). |
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| 作者姓名： | 郭帅 周旭 池华敬 王双 陈革 章其初 |
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| 作者单位： | 皇明太阳能股份有限公司,镀膜研发中心,山东德州253000 |
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| 摘 要： | 本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置.本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成.选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 sccm、100 sccm和10 sccm,并联组成流量计组件用于测量输入气体的流量,选用高精度的复合真空计测量真空测试罩内气压.抽速测试结果显示,一台1200 L/s的复合分子泵N2抽速重复测量5次,14个气压测试点对应的抽速的最大相对标准偏差小于2％,重复性好.抽速测量的误差主要由流量计和真空计的系统误差决定.采用流量计测量一台分子泵在气压2.00×10-3 Pa～2.00 Pa范围的抽速,测量时间20 min以内.
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| 关 键 词： | 真空室 复合分子泵 抽速测量 质量流量计 真空计 |
Development of apparatus for measuring pumping speed of hybrid molecular pumps using mass flow meters |
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| GUO Shuai
,
ZHOU Xu
,
CHI Hua-jing
,
WANG Shuang
,
CHEN Ge
,
ZHANG Qi-chu.Development of apparatus for measuring pumping speed of hybrid molecular pumps using mass flow meters[J].Vacuum,2013,50(4). |
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| Authors: | GUO Shuai ZHOU Xu CHI Hua-jing WANG Shuang CHEN Ge ZHANG Qi-chu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vacuum chamber hybrid molecular pump pumping speed measurement mass flow meter vacuum gauge |
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