| 双靶共溅射TiAl系高温耐磨薄膜制备与研究 |
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| 引用本文： | 张晔,殷春云,李长生. 双靶共溅射TiAl系高温耐磨薄膜制备与研究[J]. 真空, 2013, 50(5) |
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| 作者姓名： | 张晔 殷春云 李长生 |
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| 作者单位： | 常州机电职业技术学院模具技术系,江苏常州,213164 |
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| 摘 要： | 在同一次双靶共溅射过程中,通过改变基体相对于靶材的位置制备了不同化学成份TiAl系金属间化合物薄膜.采用EDS、XRD、SEM、AFM等手段对薄膜的成分、物相结构和表面形貌进行了表征,并对薄膜的高温摩擦行为进行了分析研究.实验结果表明:薄膜的化学成分、物相结构、表面形貌都随着溅射位置的改变而发生变化,500℃以下时位于双靶中间位置的薄膜具有体系中最佳的性能.
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| 关 键 词： | 双靶共溅射 金属间化合物薄膜 物相结构 高温摩擦行为 |
Research on the fabrication of Ti-Al series intermetallic films by double-target co-sputtering |
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| ZHANG Ye , YIN Chun-yun , LI Chang-sheng. Research on the fabrication of Ti-Al series intermetallic films by double-target co-sputtering[J]. Vacuum(China), 2013, 50(5) |
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| Authors: | ZHANG Ye YIN Chun-yun LI Chang-sheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | double target co-sputtering intermetallic films microstructure friction behavior under high temperature |
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