| 高纯氧化铝陶瓷表面形貌对Mo-Mn法金属化封接强度的影响 |
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| 引用本文： | 尚阿曼,高鸣,黄亦工,张巨先.高纯氧化铝陶瓷表面形貌对Mo-Mn法金属化封接强度的影响[J].真空电子技术,2013(4). |
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| 作者姓名： | 尚阿曼 高鸣 黄亦工 张巨先 |
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| 作者单位： | 1. 北京真空电子技术研究所,北京,100015
2. 北京真空电子技术研究所,北京100015;大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京100015 |
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| 摘 要： | 本文通过不同烧结温度制备出两种显微结构的高纯Al2O3陶瓷,采用四种不同的加工方式,制备出不同表面状态的高纯Al2O3陶瓷样品.利用轮廓仪测量样品表面粗糙度,并利用扫描电镜对其表面显微形貌进行分析.然后,将各种不同表面形貌的高纯Al2O3陶瓷进行高温Mo-Mn法金属化,并用Ag焊料进行封接.最后,测试出不同表面形貌的高纯Al2O3陶瓷金属化封接强度,进而研究高纯氧化铝陶瓷表面形貌对其Mo-Mn金属化封接强度的影响.结果发现,表面未加工高纯Al2O3陶瓷金属化封接强度高、一致性最好.
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| 关 键 词： | 高纯Al2O3陶瓷 表面形貌 高温Mo-Mn法金属化 封接强度 |
Effect of Surface Morphology on the Sealing Strength of High Purity Al2O3 Ceramic by Molybdenum-Manganese Process |
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| SHANG A-man
,
GAO Ming
,
HUANG Yi-gong
,
ZHANG Ju-xian.Effect of Surface Morphology on the Sealing Strength of High Purity Al2O3 Ceramic by Molybdenum-Manganese Process[J].Vacuum Electronics,2013(4). |
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| Authors: | SHANG A-man GAO Ming HUANG Yi-gong ZHANG Ju-xian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | High purity Al2O3 ceramics Surface morphology High temperature molybdenum-manganese process Sealing strength |
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